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SEM+EDS分析

SEM+EDS分析

作者: 来源: 日期:2018-4-19 8:09:51 人气:877
SEM:利用阴极所发射的电子束经阳极加速,由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流,这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息,经过分别收集,放大就能从显示屏上得到各种相应的图像。
EDS:入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析,高能电子束轰击样品表面,激发各种信号。
可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析:
‧SEM主要利用背散射电子(BEI)和二次电子(SEI)来成像。
‧EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。
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